应用于扫描隧道显微镜探针的纳米级钨针制备

摘要

扫描隧道显微镜因其原子级别的空间分辨率,广泛应用于材料表面表征等领域.其成像分辨率取决于针尖的尖锐度,目前还没有可靠的方法,能够制备出用于高质量的针尖.本文提出了一种利用场致刻蚀技术的方法,能够可控地制备出纳米级的钨针.