远心轴上暗场照明所实施的光学系统的优化使用及性能

摘要

本发明提供一种系统及方法，通过本发明提出以成像平面镜状物体(102)，诸如：半导体晶圆。于实施例中，用于成像于平面镜状物体(102)的缺陷的一种成像系统(100)包括远心透镜(110)，其具有充分非球面表面，使远心透镜实质修正光学像差。成像系统(100)还包括远心光圈(116)，于其包括孔径，以阻断自平面镜状物体(102)所反射的光线而允许自缺陷所反射的光线为通过孔径。成像系统(100)更包括透镜群组(108)，其具有定位于远心光圈(116)与透镜群组(108)之间的系统光圈。透镜群组(108)无关于远心透镜(110)而实质修正光学像差。