公开/公告号CN101576747B
专利类型发明专利
公开/公告日2010-11-10
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;
申请/专利号CN200810105901.1
申请日2008-05-05
分类号
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人李丽
地址 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号
入库时间 2022-08-23 09:05:40
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-24
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G05B19/418 授权公告日:20101110 终止日期:20190505 申请日:20080505
专利权的终止
2010-11-10
授权
授权
2010-11-10
授权
授权
2010-01-06
实质审查的生效
实质审查的生效
2010-01-06
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-11-11
公开
公开
2009-11-11
公开
公开
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