泄漏检查装置的异常检查方法及泄漏检查装置

摘要

本发明涉及一种泄漏检查装置的异常检查方法及泄漏检查装置，其在校正过程中，将空气封入作为标准的第一被检查体内，分别计测且存储从空气密封结束时刻起经过规定时间的时刻的第一被检查体内的压力变化值B1、和从该经过时刻再经过相同时间的时刻的压力变化值B2。另外，在检查过程中，将空气封入泄漏检查对象即第二被检查体内，从空气的密封结束时刻起计测相当于压力变化值B1和B2的压力变化值B1′及B2′，根据这些计测值运算波形比K，该波形比K＝(B1′-B2′)/(B1-B2)。而且，利用波形比K的值判定泄漏检查装置的异常。