用于材料表面改性的等离子体浸没离子注入装置

摘要

本发明提出一种用于材料表面改性的等离子体浸没离子注入装置，主要包括主真空室，高频等离子体源和金属蒸汽真空电弧及高频天线激励系统，本发明具有多种等离子体产生手段，它即可用于金属，陶瓷，玻璃，聚合物材料表面改性，也可用于半导体材料处理，可进一步提高材料表面改性的效果。