在时分多重蚀刻工艺中的终点检测

摘要

通过在特征工艺频率处监视工艺的光谱发射的识别区确定时分多重工艺的终点的改进方法。以在时分多重工艺期间使用的材料的预计发射光谱为基础识别区域。以在时分多重工艺中步骤的持续时间为基础确定特征工艺频率。监视光谱的幅度变化表示在时分多重工艺中工艺的终点以及材料层之间的过渡。