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公开/公告号CN101161856B
专利类型发明专利
公开/公告日2010-09-29
原文格式PDF
申请/专利权人 河南中光学集团有限公司;
申请/专利号CN200710053938.X
发明设计人 菊池和夫;赵升林;杨育兴;张兰;党亚军;
申请日2007-02-01
分类号C23C14/54(20060101);G05D5/03(20060101);G02B26/02(20060101);
代理机构郑州联科专利事务所(普通合伙);
代理人张晓萍
地址 473000 河南省南阳市中州路254号
入库时间 2022-08-23 09:05:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-09-29
授权
2008-06-11
实质审查的生效
2008-04-16
公开
机译: 用于膜厚监测装置的传感器,具有该膜厚监测装置的膜厚监测装置以及用于生产膜厚监测装置的传感器的方法
机译: 光学膜厚监测装置和膜厚监测方法
机译: 光学膜厚测定方法,光学膜厚测定系统及光学膜厚测定程序其他
机译:实现双面膜厚测量的膜厚计的特性和应用效果<光学干涉型膜厚计Optical NanoGauge C12562-01>
机译:用表面等离振子共振成像和成像椭偏仪用单个光学系统构造的膜厚变化的连续监测
机译:宽带光学监测技术研究厚度误差累积在光学镀膜生产中的作用
机译:高质量光学镀膜生产的设计和监控方法
机译:光学镀膜的偏振像差。
机译:光学相干断层扫描研究主要脉络膜增厚疾病中脉络膜的形态学特征
机译:通过反射率,透射率和膜厚测量来确定蒸发金属膜的近红外中的光学常数
机译:环境修复场所监测的科学机会(sOmERs)。基于系统的集成监控方法。