气体供给设备异常情况的检测装置及检测方法

摘要

本发明提供一种在判断出压力调整器的停用压调整能力为异常时，转而对气体供给配管的气体泄漏进行检查，能够长时间地监视微量气体泄漏的气体供给设备异常检测装置。另外还提供了一种为了判断在有一定的气流量流过的状态下是否在所定的压力范围调压，并与在气流量多的情况下的调整压范围的低值和在流量少的情况下调整压范围的高值作比较，从而能够更适当地检测压力调整器的调整压异常的气体供给设备的异常检测装置。