用于制造多层高温超导(HTS)涂布带的金属有机化学气相沉积(MOCVD)法以及设备

摘要

一种有机化学气相沉积设备以及制造电流容量高的多层高温超导涂布带的方法，所述设备包括多个液体前体源，各自具有相连的泵和汽化器，所述汽化器的出口连通到金属有机化学气相沉积反应器中的多隔室喷头设备。所述多隔室喷头设备靠近有关的基质加热器，它们一起形成位于沉积区中的多沉积段区。