首页> 中国专利> 自适应调焦调平传感器系统自我判断测量数据可信度的方法

自适应调焦调平传感器系统自我判断测量数据可信度的方法

摘要

本发明公开了一种自适应调焦调平传感器系统及应用方法,其特征在于光斑掩模还具有形成位于曝光狭缝之外的预测光斑的通光孔,利用所成的曝光狭缝外的预测光斑使本发明的自适应调焦调平系统实现对工艺的自适应,对其本身测量点测量数据的可信度进行自我判断,对光强或增益环节进行反馈控制。本发明的有益效果是大大提高了调焦调平系统的可用性及生产效率和成品率,减少了工艺实验的工作量,节约了使用成本,提高了调焦调平的测量性能和工件台的工作性能,并最终也提高了整个光刻机的工作性能,降低了其使用成本和使用难度。

著录项

  • 公开/公告号CN101403864B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2010-09-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海微电子装备有限公司;

    申请/专利号CN200810176153.6

  • 发明设计人 关俊;

    申请日2006-11-17

  • 分类号G03F7/20(20060101);H01L21/027(20060101);

  • 代理机构31002 上海智信专利代理有限公司;

  • 代理人王洁

  • 地址 201203 上海市张江张东路1525号

  • 入库时间 2022-08-23 09:05:09

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-12-22

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更前: 变更后: 申请日:20061117

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2010-09-15

    授权

    授权

  • 2010-09-15

    授权

    授权

  • 2009-06-03

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-06-03

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-04-08

    公开

    公开

  • 2009-04-08

    公开

    公开

查看全部

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号