公开/公告号CN101403864B
专利类型发明专利
公开/公告日2010-09-15
原文格式PDF
申请/专利权人 上海微电子装备有限公司;
申请/专利号CN200810176153.6
发明设计人 关俊;
申请日2006-11-17
分类号G03F7/20(20060101);H01L21/027(20060101);
代理机构31002 上海智信专利代理有限公司;
代理人王洁
地址 201203 上海市张江张东路1525号
入库时间 2022-08-23 09:05:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-12-22
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更前: 变更后: 申请日:20061117
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2010-09-15
授权
授权
2010-09-15
授权
授权
2009-06-03
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-06-03
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-04-08
公开
公开
2009-04-08
公开
公开
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