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范伟; 李世光; 武志鹏; 段晨; 宗明成;
中国科学院微电子研究所 北京 100029;
中国科学院大学 北京 100049;
光刻; 调焦调平; 精度; 拟合算法;
机译:对中调平装置的设想。在机电角度测量系统中的应用
机译:并行近场光刻系统的光学调平技术
机译:聚合物笔光刻中大规模平行阵列的“强制反馈”调平
机译:使用线性CCD的光刻光刻的调平系统
机译:聚合物纳米压印光刻的分子建模与启发式算法=聚合物纳米压缩光刻的分子建模和启发式算法
机译:超越EUV光刻技术:有效光刻胶性能的比较研究
机译:步进压印光刻测量系统
机译:具有CDma(码分多址)信令的全饱和卫星转发器裕度调平算法
机译:用于细胞培养物比较研究的细胞培养物测量系统和方法
机译:用于细胞培养的比较研究的细胞培养测量系统和方法
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