纳米光刻调焦调平传感器光电探测系统设计

摘要

针对光刻机调焦调平传感器的高实时性数据采集的设计需求,设计了一种多通道同步采集的光电探测系统.该系统使用FPGA作为数据处理和逻辑控制核心,实现了21个通道测量数据的实时采集和高速传输,与硅片台位置同步以保证测量数据与被测位置间的同步性,利用高速差分串行传输和PCIe协议完成数据的高速传输,并由上位机软件保存数据.实验结果证明该系统测量精度好于4 nm,并可稳定采集调焦调平传感器的测量结果.