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光导型双色紫外红外探测器及其制备方法

摘要

光导型双色紫外红外探测器及其制备方法,它涉及一种双色紫外红外探测器结构及其制备方法。本发明解决了现有的同时探测红外和紫外信号的双色红外紫外探测器的结构复杂及探测成本高的问题。探测器结构是在蓝宝石衬底外延依次生长有AlN层、GaN层、GaN/Al

著录项

  • 公开/公告号CN101572278B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2010-08-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 哈尔滨工业大学;

    申请/专利号CN200910072199.8

  • 发明设计人 李美成;熊敏;张森;陈雪飞;

    申请日2009-06-05

  • 分类号

  • 代理机构哈尔滨市松花江专利商标事务所;

  • 代理人荣玲

  • 地址 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

  • 入库时间 2022-08-23 09:05:04

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2012-07-25

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 31/101 授权公告日:20100811 终止日期:20110605 申请日:20090605

    专利权的终止

  • 2010-08-11

    授权

    授权

  • 2009-12-30

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-11-04

    公开

    公开

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