用于标定机械形变量的高精度微位移量检测装置及其测量方法

摘要

本发明涉及一种机械微位移检测装置及其测量方法，特别是涉及一种用于为特种微位移传感器标定机械微形变量的高精度微位移量检测装置。电气分析部分是由机壳、整流稳压器、相位甄别器、高频振荡器、模数转换器、逻辑处理器、微位移量显示器、电感式微位移传感器等部分所组成。机械分析部分是由机械底座部、高倍率减速器和微位移产生部等部分所组成。测量开始时，摇动旋转高倍率减速器将系统调制到零位移，摇把盘旋转角位移量变化量±Φ转换为微位移量±L，通过相关传递装置作用在特种微位移传感器的采样两端，作为特种微位移传感器的机械输入量，电感式微位移传感器的探测触铁。该装置结构简单、可靠性强、灵敏度高，使用寿命长。