公开/公告号CN1041018C
专利类型发明授权
公开/公告日1998-12-02
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海光学精密机械研究所;
申请/专利号CN95111553.7
发明设计人 徐德衍;
申请日1995-03-08
分类号G01M11/02;
代理机构上海华东专利事务所;
代理人李兰英
地址 201800 上海市800-211邮政信箱
入库时间 2022-08-23 08:55:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2001-05-02
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
1998-12-02
授权
授权
1996-09-11
公开
公开
1996-06-12
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
机译: 菲索干涉仪和使用菲索干涉仪的测量方法
机译: 菲索干涉仪和使用菲索干涉仪的测量方法
机译: 菲索干涉仪和使用菲索干涉仪的测量方法