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斐索激光干涉仪标准镜头及斐索激光干涉仪

摘要

本发明公开了一种斐索激光干涉仪标准镜头以及斐索激光干涉仪。该斐索激光干涉仪标准镜头包括:光阑及同轴设置的标准镜头主体,所述标准镜头主体包括面向所述光阑的第一表面以及与所述第一表面相对的第二表面,所述第一表面上设置有中心对称的衍射环。本发明提供的斐索激光干涉仪标准镜头以及斐索激光干涉仪具有结构简单,成本低的优点。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-05-14

    授权

    授权

  • 2017-02-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/24 申请日:20160804

    实质审查的生效

  • 2017-02-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/24 申请日:20160804

    实质审查的生效

  • 2017-01-04

    公开

    公开

  • 2017-01-04

    公开

    公开

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