法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-05-20
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2001-07-11
授权
授权
1997-05-28
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
1997-04-09
公开
公开
机译: 版本压印模板,制造压印模板的方法,用于制造压印模板的方法的装置,用于制造压印模板的压印模具
机译: 用于生产印模的基质,印模,制造方法以及用于制造印模的基质,印模的制造方法,印模的制造方法
机译: 用于印刷光刻工艺的印模,制造印模的方法,用于制造印模的零件套件,形成图案层的方法和印模的使用