约瑟夫逊结及其制造方法

摘要

一种约瑟夫逊结，包括：一衬底，第一超导层，横跨于第一超导层上的第二超导层，其间设置绝缘层，绝缘层是一种超导材料的氧化物或氮化物，和绝缘层，它包括与第一和第二层的每层相接触的低氧或氮浓度区域。一种用以制造约瑟夫逊结的方法，它包括下列步骤：制备一衬底，形成第一超导层，形成第二超导层，其横跨于第一层上，其间设置有绝缘层，其中绝缘层是一种超导材料的氧化物或氮化物，和将离子束注入绝缘导，以便形成连接第一和第二层的低氧或氮浓度区域。