法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-02-13
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/02 授权公告日:20100630 终止日期:20111219 申请日:20081219
专利权的终止
2010-06-30
授权
授权
2009-07-15
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-05-20
公开
公开
机译: 制备铁电薄膜薄膜铁电电容器铁电存储器的方法及制造铁电存储器的方法
机译: 铁电薄膜,铁电薄膜的制造方法,铁电电容器,铁电电容器的制造方法以及铁电存储器
机译: 铁电薄膜,铁电薄膜的制造方法,铁电电容器,铁电电容器的制造方法以及铁电存储器