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用于将粘接在柔软薄膜上的部件分开的方法和装置

摘要

带有要分开的部件(1)的薄膜(2)在部件的区域内放置在分开工具(5)上,该分开工具具有至少一个在一个支持平面(11)内延伸的用于薄膜的支持元件(6)。该薄膜借助负压既顶着支持元件(6)也部分地被吸附到支持平面下方。在支持元件的区域内提供至少一个表面部分(8),该表面部分在分开过程开始时在支持平面内延伸,而在保持负压的情况下在利用一个吸附工具(4)抓住部件(1)之后该表面部分能够平面平行于支持平面地进行运动,其中所述表面部分(8)从支持平面(11)被后拉到一个分开位置(X)中。由此能够在受控制的运动中控制薄膜的分开过程,而不会损坏或者移动部件。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2011-10-19

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/00 变更前: 变更后: 申请日:20041217

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2010-06-16

    授权

    授权

  • 2007-10-10

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2007-08-15

    公开

    公开

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