在背面表面形成有对准标记的装置及形成对准标记的方法

摘要

本发明涉及一种在背面表面形成有对准标记的装置，包含一集成电路和一对准标记。集成电路位于一基板的一第一区域，其中此基板有一第一表面和一第二表面，且第一表面和第二表面为此基板的两个相对的主要的表面。对准标记位于基板的一第二区域，且该对准标记穿透该基板，并延伸在该第一表面和该第二表面之间。另外，对准标记延伸而突出于第一表面和(或)第二表面，和(或)此对准标记包含多个相似的对准标志。第二区域位在第一区域和基板的边缘之间，且第二区域包含一划线区。本发明亦揭露一种在背面表面形成对准标记的方法。