一种集成多级二维光学微机电系统光开关

摘要

本发明涉及一种集成多级二维光学微机电系统光开关及实现光路径交换方法，该光开关的输入/输出端口数为N，N为2的整数倍，光开关中的微镜分为N级，从第1到第N从左到右依次排列，同一级每两个相邻微镜之间的距离为p，每相邻两级微镜之间的距离为p/2，每一奇数级具有N/2个双面镜，每一偶数级具有N/2-1个双面镜；所述双面镜具有开、关两种状态；在每一偶数级微镜中，距离第一个微镜的上方p处有固定的单面镜，距离第N/2-1个微镜的下方p处有固定的单面镜，所述单面镜为开状态，该方法通过对所述光开关中双面镜的状态设置实现从不同的端口输出。利用本发明增强了端口到端口的重复性并降低了光功率损耗、降低了光束扩散损耗。