用于具有结晶材料中加工的平面单片振动结构的机械共振器的生产方法以及这样生产的共振器

摘要

本发明涉及结晶材料中加工的平面单片振动结构的机械共振器的制造。当材料是三角(1)、三角(2)或六角结构时，在[001]平面中切割所述材料，或者当所述材料是立方结构时，在[111]平面中切割所述材料并使用2阶振动模式。当材料是正方(1)或正方(2)或六角结构时，在[001]平面中切割所述材料或者当所述材料是立方结构时，在[001]、[100]或[010]平面中切割所述材料并使用3阶振动模式。因此，共振器具有自然材料频率各向同性(Δfm＝0)。