压阻式微波功率传感器及其微波功率传感方法

摘要

压阻式微波功率传感器是利用终端电阻吸收微波功率发热产生薄膜应力，以压敏电阻的方式测得输入微波功率的结构，该传感器以Si衬底(1)为衬底，Si3N4/SiO2层(9)设在Si衬底的底部，在Si衬底上设有SiO2绝缘层(2)，SiO2绝缘层(2)与腐蚀Si衬底上的硅膜(11)构成双层膜(8)结构，在双层膜(8)结构上设有共面波导(3)，在共面波导的终端设有匹配电阻(4)，在双层膜结构的边缘设有四个沿<110>方向的压敏电阻(6)，压敏电阻通过接触金属(10)由金属导线(5)构成惠斯登电桥，惠斯登电桥的四个引线端分别与压焊块(7)相接。该结构由放置在双层膜的边缘的压敏电阻测量膜的应力变化，得到输入微波功率的大小。