用光刻胶热熔法制备球形凸起生物微电极阵列的方法

摘要

本发明公布了一种用光刻胶热熔法制备球形凸起生物微电极阵列的方法，用光刻技术制作凸起的圆柱形光刻胶，并采用热熔回流光刻胶形成球形凸点，在衬底上均匀覆盖一层聚合物，作为器件的底部保护材料，图形化形成金属电极点和导线，再覆盖聚合物作为器件顶部保护材料，图形化露出电极点和焊点，得到最终需要的球形凸起柔性微电极阵列。本发明不仅成本低，工艺过程简单，而且具有较高的刺激效果，可用于视网膜假体等神经细胞刺激的生物微电极阵列的制备上。