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目录
1 绪 论
1.1 研究背景
1.2 超级电容器概况
1.3 超级电容器微电极制备的国内外研究现状
1.4 研究目标和研究内容
1.5 本章小结
2 超级电容器三维微电极阵列结构设计
2.1 电极结构对电容器性能的影响
2.2 三维微电极阵列的有限元分析
2.3 三维微电极阵列结构参数优化
2.4 本章小结
3 超级电容器三维微电极阵列结构制备
3.1 基于MEMS技术的三维微结构制备技术
3.2 基于硅基SU-8胶的三维微电极阵列结构
3.3 体硅三维微电极阵列结构
3.4 本章小结
4 超级电容器三维微电极阵列结构表面功能膜制备
4.1 三维微电极阵列结构表面功能薄膜制备
4.2 超级电容器三维微电极阵列表征
4.3 本章小结
5 微型超级电容器
5.1 微型超级电容器制备关键技术
5.2 微型超级电容器正负电极阵列制备
5.3 微型超级电容器胶体电解质制备与封装
5.4 微型超级电容器表征
5.5 本章小结
6 总 结
6.1 研究工作总结
6.2 论文的创新点
6.3 有待解决的问题
致谢
参考文献
附录