一种基于MEMS技术的三维风速风向传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于MEMS技术的三维风速风向传感器及其制备方法，结合传统CMOS工艺与MEMS后处理工艺，对于水平方向风速分量采用芯片上中心对称放置加热单元以及四周分布的测温单元进行测量，对于竖直方向的风速分量采用中心薄膜受风压形变造成的支撑梁根部压阻阻值变化进行测量。本发明提出的三维风速风向传感器结构具有尺寸小，灵敏度高、功耗低等优点，可以有效检测三维风速风向。