薄膜晶体管、显示器件和液晶显示器件、及其制造方法

摘要

随着布线变厚，覆盖此布线的绝缘膜的不连续性已经成了问题。难以形成用于目前高分辨率显示器件的薄膜晶体管的宽度足够小的布线。随着布线被做得更薄，布线电阻造成的信号延迟已经成了问题。考虑到上述各问题，本发明提供了一种结构，其中，导电膜被形成在绝缘膜的孔中，且导电膜与绝缘膜的表面是平坦的。结果，能够防止覆盖导电膜和绝缘膜的薄膜的不连续。借助于控制孔的宽度，能够将布线做得更细。而且，借助于控制孔的深度，能够将布线做得更厚。