用于医学超声的换能器阵列

摘要

一种超声换能器(40，70，100)包括组合的单个管芯集成电路(42，72，102)和通过倒装凸块阵列(46，76，106)耦合到该组合的单个管芯集成电路的声学元件阵列(44，74，104)。该组合的单个管芯集成电路包括与至少一个附加的集成电路管芯(50，80，(110，112))对准的第一集成电路管芯(48，78，108)。此外，该第一集成电路管芯、该至少一个附加的集成电路管芯以及该声学元件阵列一起形成大孔径换能器阵列。