公开/公告号CN100590530C
专利类型发明授权
公开/公告日2010-02-17
原文格式PDF
申请/专利权人 安格斯公司;
申请/专利号CN200480021018.4
申请日2004-07-21
分类号G03F7/20(20060101);G02B27/00(20060101);
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人韩宏
地址 美国明尼苏达
入库时间 2022-08-23 09:04:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-09-11
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 授权公告日:20100217 终止日期:20120721 申请日:20040721
专利权的终止
2010-04-07
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更前: 变更后: 申请日:20040721
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2010-02-17
授权
授权
2006-10-25
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-08-30
公开
公开
机译: 光刻投影设备,气体吹扫方法和设备制造方法以及吹扫气体供应系统
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