一种旋转电极镀膜系统

摘要

本发明涉及气相沉积技术领域，尤其涉及一种旋转电极镀膜系统，其包括电极组件，包括：电极架组件、射频电极片和接地电极片；所述射频电极片和所述接地电极片平行间隔设置在所述电极架组件上，所述射频电极片与射频电源电连接，所述接地电极片与所述射频电极片相互绝缘；公转组件，用于驱动电极架组件绕设定中心转动；自转组件，与所述电极架组件传动连接，用于驱动所述电极架组件绕自身轴线转动。本发明能够提高成膜的均匀性和镀膜效率。