基板检查用的基准值设定方法、利用该方法的装置及程序

摘要

本发明可容易地设定判定基准值，该判定基准值可将中间工序的检查结果和最终工序的检查结果间产生不一致的频度控制在允许值附近。对于最终焊接工序的检查设备的判定结果为“合格”的基板及“不良”的基板，分别作成部件位置偏差检查所计测的位置偏差量的直方图。并基于任一直方图，对决定“合格”判定范围的判定基准值进行初始设定后，在变更该判定基准值的同时，对计测值重复求和处理，该计测值包含在对最终检查结果为“不良”的基板的“合格”判定范围内，或包含在对最终检查结果为“合格”的基板的“不良”判定范围内。然后，将该总和相对于基板总数的比率成为与用户所指定的漏检率或者错检率对应的值时的判定基准值，选择为最佳的值。