微小物体的集聚系统以及微小物体的集聚方法

摘要

样本台(1)构成为对设置了薄膜(12)的基板(11)进行保持。激光模块(4)包含多个发光区域(421)，从多个发光区域(421)分别发出多个激光光线(L)。光波导(44)以及透镜(45)将多个激光光线(L)聚光到同一聚光点(F)。调整机构(6)构成为对样本台(1)与聚光透镜(光波导(44)以及透镜(45))之间的相对位置关系进行调整。控制装置(50)构成为能够进行单一照射模式和多点照射模式的切换。单一照射模式是对调整机构(6)进行控制使得多个激光光线(L)的聚光点(F)与薄膜(12)一致的模式。多点照射模式是对调整机构(6)进行控制使得聚光点(F)偏离薄膜(12)的模式。