图形尺寸校正装置及方法、光掩模以及试验用光掩模

摘要

以第一算出装置(12)，基于与眩光产生图形的开口率之间的关系，分别计算出使用试验用光掩模(11)而转印的各评价用图形的各转印图形的宽度值，以第二算出装置(13)将计算出的各转印图形的宽度值的分布进行线性近似，计算出其倾斜度。进一步，基于定义了各转印图形的宽度值的倾斜度(尺寸变化量)，以校正装置(14)按每个图形改变校正量。由此，能够更加准确的计算出局部眩光造成的尺寸变化量，能够高精度的进行相对于局部眩光的图形尺寸校正。