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220毫米长的大尺寸氟化铈晶体的生长技术

摘要

本发明涉及晶体生长技术,尤其是大批量生长220毫米长的大尺寸优质氟化铈晶体的技术,属晶体生长领域。本发明提供的技术包括原料处理、坩埚、生长设备以及生产工艺四方面。用本发明提供的技术可以大批量生长长度达220mm的CeF

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2003-05-21

    专利权的终止专利权的主动放弃

    专利权的终止专利权的主动放弃

  • 1999-10-27

    授权

    授权

  • 1997-08-27

    实质审查请求的生效

    实质审查请求的生效

  • 1995-09-27

    公开

    公开

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