FeS/MoS₂纳米多层膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种复合处理技术制备的FeS/MoS₂纳米多层膜，其是由Fe层和Mo层交替沉积在基体上，然后再通过离子渗硫处理制成的；所述FeS层和MoS₂层厚度之比为0.95～1.05，双子层厚度为5～20nm，纳米多层膜总厚度为1～3μm。本发明所述FeS/MoS₂纳米多层膜在摩擦系数、磨损量和抗擦伤载荷等方面，与现有的纳米多层膜相比摩擦学性能优异，实用性更强，而且具有极为优良的固体润滑性能，即“超滑性”，可用于机械装备各种摩擦表面，尤其是精密配合表面减轻摩擦，改善润滑条件。