一种六自由度的空气弹簧隔振平台

摘要

本发明提出了一种六自由度的空气弹簧隔振平台，包括高压气源、隔振负载、垂直隔振器和水平隔振器，垂直隔振器设置于隔振负载的四角，水平隔振器设置于垂直隔振器之间的区域，垂直隔振器中高压气源分别连接第一空气轴承和垂直空气弹簧，在第一空气轴承与底座之间形成供垂直隔振器移动和转动的第一压力气膜导轨，垂直空气弹簧通过调节内部压力衰减垂直隔振器受到的振动干扰；水平隔振器中高压气源分别连接第二空气轴承和水平空气弹簧，在第二空气轴承和水平空气弹簧之间形成供水平隔振器移动和转动的第二压力气膜导轨，水平空气弹簧通过两组水平空气弹簧之间的气路连通衰减水平隔振器受到的振动干扰。该平台能够保证高精密仪器的工作精度和可靠性。