空圧式アクティブ除振台－空気ばねの圧力制御による除振·制振

摘要

近年、電子顕微鏡などの測定器や半導体製造装置および検査装置の高精度化、高性能化が進み、床からそれらの機器に伝わる振動が問題になっている。 この対策として従来から空気ばねを用いる振動絶縁方法が一般的である。 しかし、装置がさらに高精度化するに従ってより高い除振性能が求められ、特に固有振動数近傍でも共振のない優れた除振性能が期待されている。 また、半導体製造装置や高精度な工作機器にはステージなどの加振源を搭載しているものがあり、除振に加えて加振源による振動に対しても揺れにくく、しかも速やかに揺れを抑える制振性能が求められている。 そこでサーボ弁によって空気ばねの内圧を制御するアクティブ除振台を開発し、除振性能と制振性能の向上を行った。