延伸静态膨胀法真空标准装置校准下限的方法

摘要

本发明公开了一种延伸静态膨胀法真空标准装置校准下限的方法，其装置是在高真空校准室上增设非蒸散型吸气剂泵及阀门，其方法是通过非蒸散型吸气剂泵可使高真空校准室达到10^-8Pa的超高真空，在1×10^-6Pa～1×10^-3Pa范围内校准时，打开非蒸散型吸气剂泵，在大于1×10^-3Pa范围内校准时，关闭非蒸散型吸气剂泵。本发明利用非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速的特性，采用惰性气体作为校准气体，既维持了超高真空本底，又不改变校准室的有效抽速，消除了静态膨胀法真空标准装置器壁吸放气效应的影响，使得该装置校准下限得以延伸，同时提高了校准精度。