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一种同时确定高反射腔镜和测试镜反射率的方法

摘要

一种同时确定高反射腔镜和测试镜反射率的方法,其特征在于:强度调制的连续激光入射到两块平凹高反射腔镜组成的稳定谐振腔,以锁相方式测量光腔输出信号一次谐波的振幅和相位,保持腔长不变,加入高反射测试镜构成折叠腔,重复上述过程,测量对应频率的折叠腔振幅和相位,进而得到两种腔型对应频率的振幅比值和相位差值。由两者随调制频率的变化曲线拟合或由两者在两个频率点的值计算,同时得到腔镜反射率和测试镜反射率,本发明具有测量效率和测量精度高的优点。

著录项

  • 公开/公告号CN100559146C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2009-11-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院光电技术研究所;

    申请/专利号CN200610114363.3

  • 发明设计人 龚元;李斌成;

    申请日2006-11-08

  • 分类号G01M11/02(20060101);G01N21/55(20060101);

  • 代理机构11251 北京科迪生专利代理有限责任公司;

  • 代理人贾玉忠;卢纪

  • 地址 610209 四川省成都市双流350信箱

  • 入库时间 2022-08-23 09:03:36

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-12-28

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01M 11/02 授权公告日:20091111 终止日期:20151108 申请日:20061108

    专利权的终止

  • 2009-11-11

    授权

    授权

  • 2008-11-05

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2007-04-11

    公开

    公开

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