用于确定被测物体光谱反射率的装置

摘要

对于一种用于确定被测物体光谱反射率的装置所提出的任务是，更简单且更紧凑地构成测量装置并且防止目前为了获得基准射线所必需的元件远离光程以及复杂的平移和旋转运动。由辐射源发出的不同射线范围作为测量和基准射线，它们同时对准至少一个分散元件的不同光谱分解范围和摄谱装置中的至少一个接收器的不同接收范围上。优选被测物体是与光谱有关的反射表面，用于在极限紫外区(EUV)中辐射，但是本装置的应用不局限在这个光谱区。