一种工艺波动影响的分析方法及系统

摘要

本发明实施例公开了一种工艺波动影响的分析方法，包括：确定标称尺寸时目标物理量针对尺寸参数的敏感度近似模型；通过所述敏感度近似模型，获得目标物理量相对于尺寸参数的随机分布特性。这种方法通过敏感度近似模型体现工艺波动中几何随机性带来的物理量的影响，计算量小，且能保证一定的分析精度。