公开/公告号CN100576127C
专利类型发明授权
公开/公告日2009-12-30
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社日立国际电气;
申请/专利号CN200580034896.4
申请日2005-11-28
分类号G05D23/00(20060101);G05B13/02(20060101);H01L21/22(20060101);H01L21/31(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人季向冈
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:03:33
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-21
专利权的转移 IPC(主分类):G05D 23/00 登记生效日:20181130 变更前: 变更后: 申请日:20051128
专利申请权、专利权的转移
2009-12-30
授权
授权
2009-12-30
授权
授权
2007-11-14
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-11-14
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-09-19
公开
公开
2007-09-19
公开
公开
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