一种小流量气体体积流量测量装置

摘要

本发明提供了一种小流量气体体积流量测量装置，包括第一管路气阻、第二管路气阻、第三管路气阻、第四管路气阻、第五管路气阻和检测组，第一管路气阻两端分别连接气体入口和气体出口，第二管路气阻入口端连接在第一管路气阻入口端，第三管路气阻入口端连接第一管路气阻出口端，第四管路气阻入口端连接第二管路气阻出口端，第五管路气阻入口端连接第三管路气阻出口端，检测组用于检测管路气阻出口压力、工作环境的大气压力和温度。本装置可以测量微升/分钟及以下流量的气体体积流量；测量有腐蚀性气体的体积流量；高压力下测量微升/分钟及以下流量气体体积值。