一种基于MIS太阳能电池结构的微纳机器人及其制备方法和应用

摘要

本发明公开了一种基于MIS太阳能电池结构的微纳机器人及其制备方法和应用，属于微纳机器人技术领域；所述微纳机器人为核壳硅纳米线结构，制备方法包括：利用光刻工艺在硅片上制备光刻胶的点阵，之后利用湿法刻蚀工艺制备硅纳米线阵列，采用热氧化法在所得硅纳米线阵列表面得到绝缘层，然后在所述绝缘层上蒸镀磁性金属层，并利用热氧化法部分氧化所述磁性金属层得到金属氧化物作为催化剂层；本发明提供的微纳机器人在保证可见光驱动效率的前提下，也能有效利用外部磁场实现对微纳机器人方向的有效控制，为靶向药物输送、微区物体运输以及光神经调节等提供了很好的应用前景。