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公开/公告号CN111996496B
专利类型发明专利
公开/公告日2022.09.30
原文格式PDF
申请/专利权人 中国电子科技集团公司第四十一研究所;
申请/专利号CN202010884518.1
发明设计人 吴斌;杨延召;曹乾涛;刘红元;王洪超;朱军峰;李京松;
申请日2020.08.28
分类号C23C14/20;C23C14/35;G01R27/28;
代理机构北京天奇智新知识产权代理有限公司;
代理人陈岚崴
地址 266000 山东省青岛市黄岛区香江路98号
入库时间 2022-11-28 17:49:19
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-09-30
授权
发明专利权授予
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