用于超薄膜分离和纳米电子器件制造的玻璃改性应力波

摘要

用于在基体和涂层之间产生张力的装置，其中基体在第一轴上具有由第一侧面和第二侧面限定的厚度，涂层涂覆到基体的第一侧面，使得涂层和基体沿第一轴轴向分隔并且相互紧密对向接触，从而形成涂层/基体界面。该装置具有布置在基体第二侧面上并且沿第一轴轴向分隔的玻璃元件。配置该玻璃元件以将应力波传播至涂层/基体界面，从而在基体和涂层之间产生张力。