连续波电光检测法用于检测超薄层异质结外延材料均匀性的研究

摘要

本文以连续波电光检测法（CWEOP）为基本原理，设计完成了自动电光检测系统，并采用锁相放大技术，对超薄层异质结外延材料进行了电场分布的测试，由此对其均匀性进行了评估．通过实验探讨了超薄层异质结外延材料2DEG分布不均匀的电光检测标准、最佳测试条件等，并对影响测量结果的因素进行了分析．本方法的突出优点是能够无损地对超薄层异质结外延材料不均匀的2DEG进行定位．