一种电子枪束斑校对装置及校对方法

摘要

本发明提供一种电子枪束斑校对装置及校对方法，解决现有电子枪束斑标定成本较高，不利于箱体密封、保持真空度的问题。该校对装置包括粗校对组件和精校对组件；粗校对组件包括粗校对板、粗校对底座和粗校对支撑板，粗校对板通过粗校对支撑板设置在粗校对底座上方；粗校对板上设置有多个粗校准孔；精校对组件包括精校对板、绝缘支撑板、精校对底座、续流电阻和检流表；精校对板上设置有多个精校准孔，每个精校准孔内设置有十字钨丝；精校对板通过绝缘支撑板设置在精校对底座上方，使得精校对板和精校对底座之间有一定距离并相互绝缘形成电容器；续流电阻的两端分别与精校对板和精校对底座电连接，检流表用于检测通过续流电阻的电流。