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微致动器以及具有微致动器的装置

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本发明的微致动器包括：基台(1)；可以相对于基台(1)变位的可动部(7)；支承可动部(7)的弹性支承部(6)；以及使可动部(7)变位的驱动部(4a～4c)。通过在与可动部(7)的垂直方向上的变位对应的弹簧常数、和与可动部(7)的倾动角度对应的弹簧常数之间保持特定的关系，从而增大驱动力与可动部(7)的变位之间的对角性，以此来实现微致动器的控制的高精度化以及简洁化。

著录项

公开/公告号CN100528735C

专利类型发明授权
公开/公告日2009-08-19

原文格式PDF
申请/专利权人松下电器产业株式会社;
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申请/专利号CN200580001648.X
发明设计人虫鹿由浩;
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申请日2005-03-02
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人汪惠民
地址日本大阪府
入库时间 2022-08-23 09:03:04

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2009-08-19

授权

授权
2007-04-18

实质审查的生效

实质审查的生效
2007-02-07

公开

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